Keysight NX5402A - система тестирования пластин кремниевой фотоники

Keysight NX5402A - комплексная система тестирования пластин кремниевой фотоники

С ростом объемов производства устройств на базе кремниевой фотоники, ключевым вызовом для производителей становится организация эффективного и экономичного тестирования. Традиционный подход, требующий сборки тестовой системы из разрозненных оптических, электрических и механических компонентов от разных поставщиков, часто приводит к сложностям с интеграцией, длительным срокам внедрения и высоким затратам на обслуживание. Система Keysight NX5402A разработана как единственное в отрасли комплексное решение («one-stop solution»), которое устраняет эти препятствия. Это полностью автоматизированная, готовая к массовому производству система, обеспечивающая гарантированную производительность для удовлетворения самых строгих требований к тестированию на уровне пластин.

В основе эффективности NX5402A лежит технология автоматического однопроходного тестирования. Эта возможность позволяет выполнять в рамках одного цикла как оптические (O/O), так и электрические (E/E) тесты, а также сложные комбинированные измерения, такие как оптико-электрические (O/E) и оптико-оптические с электрическим контролем. Такой подход кардинально увеличивает пропускную способность и гибкость производственной линии. Важнейшим отличием системы является усовершенствованная калибровка фотоники на уровне пластины (Advanced Wafer-Level Photonic Calibration). В отличие от калибровки отдельных приборов, NX5402A выполняет калибровку всей системы как единого целого, включая точное позиционирование оптоволоконных зондов, что гарантирует высочайшую повторяемость и достоверность результатов непосредственно на уровне тестируемого устройства.

Система NX5402A является частью серии решений Keysight NX5400 для тестирования кремниевой фотоники, предлагая плавный переход от лабораторных исследований (R&D) к полномасштабному производству («from lab to fab»). Она объединяет точность измерений исследовательского класса с производительностью, необходимой для массового выпуска продукции. Управление всей системой осуществляется через мощное программное обеспечение Keysight PathWave Semiconductor Test, специально разработанное для автоматизации и интеграции. ПО поддерживает выполнение нескольких тестовых сценариев в пакетном режиме, что в сочетании с полностью автоматизированным зондовым манипулятором (приобретается отдельно) создает высокоэффективную и автономную тестовую ячейку.

Технические характеристики Keysight NX5402A

• Количество оптических каналов (выход): 12
• Количество оптических каналов (вход): 12
• Количество электрических каналов: от 6 до 30
• Количество источников-измерителей (SMU): от 3 до 6
• Метод оптического сопряжения с пластиной: Решетчатый ответвитель (Grating coupler)
• Диапазон перестраиваемого лазерного источника: 1260 нм – 1360 нм (O-диапазон), 1450 нм – 1640 нм (C-диапазон)

Типы доступных измерений

• O/O (Оптический/Оптический): Измерение вносимых потерь (IL) и потерь, зависящих от поляризации (PDL).
• E/E (Электрический/Электрический): Измерение вольт-амперных характеристик (ВАХ) фотодиода.
• O/E (Оптический/Электрический): Измерение чувствительности фотодиода.
• O/O с E (Оптический/Оптический с Электрическим): Измерение IL, PDL и напряжения Vπ для модуляторов.

Комплектация

• Системный шкаф (System Cabinet)
• Источник перестраиваемого лазерного излучения (Tunable Laser Source)
• Синтезатор поляризации (Polarization Synthesizer)
• Аттенюатор (Attenuator)
• Измеритель мощности (Power Meter)
• Оптический переключатель (Optical Switch)
• Источник-измеритель (SMU)
• Матричный переключатель (Matrix Switch)
• Системный контроллер (System Controller)
• Блок распределения питания и аварийного отключения (PDU and EMO)
• Экранированная тестовая камера (Shielded Test Enclosure)
• Примечание: Полностью автоматизированный зондовый манипулятор (wafer prober) не входит в стандартную комплектацию.

Особенности

• Единственное в отрасли комплексное решение («one-stop») для массового производственного тестирования.
• Технология однопроходного тестирования для максимальной пропускной способности.
• Гарантированная производительность и повторяемость благодаря калибровке на уровне всей системы.
• Полная автоматизация через ПО Keysight PathWave Semiconductor Test, совместимое с SPECS.
• Экранированная камера для безопасной работы и высокоточных измерений темнового тока.
• Встроенная система автоматической диагностики для мониторинга состояния всех компонентов.

Применение

Система Keysight NX5402A предназначена для высокопроизводительного тестирования на этапе массового производства в индустрии кремниевой фотоники. Она идеально подходит для таких задач, как:

• Приемочные испытания пластин (Wafer Acceptance Testing, WAT).
• Мониторинг технологических процессов (Process Control Monitoring, PCM).
• Тестирование устройств для центров обработки данных, оптических вычислений, автомобильной промышленности и здравоохранения.

Keysight NX5402A - это готовый, откалиброванный и проверенный путь к быстрому наращиванию объемов производства и сокращению затрат на тестирование. Свяжитесь с «Модуль Электроника», чтобы получить готовое решение «под ключ» и ускорить выход вашей продукции на рынок кремниевой фотоники.