UGA300 Мониторинг процессов

Приложения UGAPM включают CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD, вакуумное нанесение покрытий/плазменное травление, испарение, напыление, вакуумную термообработку, прижигание мишени, обнаружение утечек/виртуальные утечки/десорбцию, исследования загрязнений, анализ небольших объемов (0,1 мл). диапазон) и т. д.

Эти анализаторы также просты в эксплуатации и обслуживании. Всеми компонентами можно управлять с передней панели или удаленного компьютера. В системах UGAPM для отбора проб в среднем вакууме используется капилляр из нержавеющей стали с внешним диаметром 1/16 дюйма или 1/8 дюйма. При такой конфигурации мертвый объем между технологической камерой и анализатором практически равен нулю.

Принцип действия

В системе UGAPM используется одноступенчатый капиллярный вход, снижающий давление пробных газов с 1 мТорр до 20 Торр. После того, как давление снижается примерно до 10-6 Торр, поток газа направляется в масс-спектрометр (анализатор остаточных газов — RGA), который измеряет концентрацию каждой интересующей массы.

Программное обеспечение UGAPM для Windows предоставляет графический интерфейс пользователя для комплексного построения графиков и анализа данных. Программное обеспечение также позволяет дистанционно управлять клапанами, нагревателями и насосами системы.

Мультикапиллярный вход

Дополнительный многоканальный впускной клапан доступен в двух возможных конфигурациях. Одной из них является многоканальная конфигурация, которая может применяться для одного конкретного давления пробы в разных местах. Другой вариант — многодиапазонная конфигурация, которую можно применять для различных диапазонов давления пробы.

Использование вашего UGAPM

Системой UGAPM можно управлять с передней панели или с компьютера. Предусмотрен выбор ручного или автоматического управления всеми компонентами системы.

Данные измеряются и отображаются с помощью программного обеспечения UGAPM. Интуитивно понятный пользовательский интерфейс позволяет выполнять измерения быстро и легко. Данные собираются и отображаются в режиме реального времени или планируются для сбора в указанное время.

Функции включают режимы аналогового сканирования и сканирования гистограммы, графики зависимости давления от времени, обнаружение утечек, библиотеку газов и интерактивную справку.

Параметры RGA также можно контролировать с помощью команд ASCII высокого уровня и др. В качестве канала передачи данных к вашему ПК используются стандартные интерфейсы RS-232 и Ethernet.

Лучшее значение

Анализаторы UGAPM предлагают лучшее соотношение цены и качества среди всех доступных в настоящее время систем. Они обеспечивают большую производительность, лучшие функции и стоят значительно ниже, чем у конкурентов.

Доступные опции и аксессуары

Опция 01 Многопортовый вход пробы (16 каналов)
Опция 02 Вентиляционное отверстие турбонасоса
Опция 03 Модернизация турбонасоса H2
O100HC Капилляр с подогревом