Keysight 4881HV – система параметрического контроля пластин

Keysight 4881HV - система параметрического контроля пластин до 3 кВ

В мире, где силовые полупроводники на основе SiC и GaN становятся ключевым элементом для автомобильной промышленности и "зеленой" энергетики, требования к их надежности и качеству выходят на первый план. Основная проблема производителей - необходимость тестировать устройства при все более высоких напряжениях, часто превышающих 1 кВ, при этом сохраняя эффективность и точность низковольтных измерений. Система Keysight 4881HV является прорывным решением этой проблемы. Она предназначена для инженеров и производственных линий, стремящихся объединить высоковольтные и низковольтные параметрические тесты в один эффективный проход, тем самым значительно сокращая время тестирования, занимаемую площадь и повышая выход годных изделий.

Технологическое превосходство 4881HV заключается в ее уникальной архитектуре. Система оснащена высоковольтной матрицей коммутации, позволяющей подавать напряжение до 3 кВ на любой из 29 измерительных контактов. Это обеспечивает беспрецедентную гибкость при создании тестовых программ. В основе измерительных возможностей лежат высокоточные источники-измерители (SMU): до двух высоковольтных HVSMU (до 3 кВ) и до восьми низковольтных LVSMU (до 200 В), обеспечивающих разрешение по току до суб-пикоамперного уровня. Это позволяет с высокой точностью измерять как пробивные напряжения, так и сверхмалые токи утечки. Одной из инновационных функций является возможность проведения высоковольтных C-V измерений (до 1 кВ) с помощью HVSMU и встроенного T-ответвителя, что расширяет спектр доступных тестов без необходимости в дополнительном оборудовании.

Keysight 4881HV - это не просто аппаратный комплекс, а целостная экосистема для параметрического контроля. Она поставляется как готовое решение "под ключ", включающее в себя не только тестовую голову и системный шкаф, но и мощное программное обеспечение Keysight SPECS на базе Linux, которое знакомо пользователям тестеров серии 4080. Это обеспечивает быстрый старт и легкую интеграцию в существующие производственные процессы. Система полностью совместима с промышленными зондовыми станциями 200/300 мм и соответствует строгим стандартам безопасности, включая SEMI S2, гарантируя защиту как персонала, так и чувствительных компонентов тестируемых пластин.

Технические характеристики Keysight 4881HV

• Назначение: Однопроходное тестирование высоковольтных и низковольтных параметров полупроводниковых пластин.
• Максимальное напряжение: до 3 кВ.
• Типы тестов: DC (I-V), емкостные (C-V), импульсные (PG), частотные (SPA).
• Измерительные ресурсы:
  • До 2-х высоковольтных источников-измерителей (HVSMU) с напряжением до 3 кВ.
  • До 8-ми низковольтных источников-измерителей (LVSMU) с напряжением до 200 В.
  • Блок измерения емкости (CMU), цифровой мультиметр (DVM), генератор импульсов (PG), анализатор сигналов (SPA).
• Матрица коммутации: Конфигурируемая, до 29 измерительных контактов.
• Измерение C-V: Стандартное и высоковольтное (HV C-V) до 1 кВ.
• Разрешение по току: Суб-пикоамперный (sub-pA) уровень.
• Совместимость с зондами: Стандартные проберы 200 мм / 300 мм.
• Безопасность: Встроенные цепи защиты, соответствие стандарту SEMI S2.
• Программное обеспечение: Keysight SPECS, опционально Keysight SPECS-FA (Factory Automation) на ОС Linux.

Особенности

• Единая платформа для высоковольтных (ВВ) и низковольтных (НВ) тестов, исключающая необходимость в нескольких системах.
• Гибкая маршрутизация высокого напряжения на любой измерительный пин через матрицу коммутации.
• Высокая точность измерений слабого тока для надежного определения токов утечки.
• Комплексное решение, включающее оборудование, ПО и профессиональные сервисы Keysight.
• Полная интеграция в автоматизированные производственные линии благодаря поддержке SPECS-FA.

Комплектация

• Система 4881HV поставляется как интегрированное решение, включающее системный шкаф и тестовую голову.
• Финальная конфигурация, включая количество и типы измерительных модулей SMU, программные опции и сервисные контракты, подбирается индивидуально под требования заказчика.
• Включает стандартную гарантию и возможность расширенного сервисного обслуживания и калибровки.

Преимущества

• Повышение пропускной способности: Объединение тестов в один проход значительно ускоряет производственный цикл.
• Снижение стоимости тестирования: Одна система заменяет несколько, экономя пространство и капитальные затраты.
• Гарантия надежности: Всестороннее тестирование силовых устройств SiC/GaN обеспечивает их соответствие самым строгим требованиям.
• Готовность к будущему: Архитектура системы рассчитана на тестирование полупроводников нового поколения.
• Безопасность и соответствие стандартам: Разработана для безопасной работы в условиях массового производства.

Применение

• Массовое производство силовых полупроводниковых приборов (SiC, GaN, IGBT).
• Контроль технологических процессов (PCM) в полупроводниковой промышленности.
• Приемочные испытания пластин (WAT) для обеспечения качества и выхода годных.
• R&D центры, занимающиеся разработкой новых силовых устройств.
• Автомобильная промышленность, производство компонентов для электромобилей и гибридов.
• Сектор возобновляемой энергетики (солнечные инверторы, силовые преобразователи).

Инвестиции в передовые технологии, такие как система Keysight 4881HV, требуют надежного партнера. Компания "Модуль Электроника" предлагает не просто поставку оборудования, а комплексную экспертизу для интеграции этой системы в ваше производство. Свяжитесь с нами, чтобы обсудить, как 4881HV может повысить выход годных изделий и ускорить ваш путь к созданию силовых устройств нового поколения.